催化氧化反應塔內裝填特制的固態復合填料，填料內部復合催化劑。當有機廢氣在引風機的作用下穿過填料層，與通過特制噴嘴化劑在固相填料表面充分接觸，并在催化劑的催化作用下，有機廢氣中的污染因子被充分分解。適用范圍廣，尤其適用于處理大氣量、中高濃度的廢氣，對疏水性污染物質有很好的去除率。

    化學利用惡臭物質對光子的吸收而發生分解，同時反應過程產生的羥基自由基、活性氧等強化性基團也能參與氧化反應，從而達到降解惡臭物質的目的。適用于濃度較低，且能吸收光子的污染物質，可以處理大氣量的、低濃度的有機廢氣，操作極為簡單，占地面積小。對不能吸收光子的污染物質效果差，對于成分復雜的廢氣無法達到預期處理效果。

    光氧催化是光化學和催化氧化方法的一種升級，它把光化學和催化氧化結合起來，處理效果更佳。